Реактивное нанесение в вакууме слоев нитрида титана и применение их в системах контактной металлизации полупроводниковых приборов
Сейдман Л.А.Tahun:
1988
Penerbit:
Электроника
Bahasa:
russian
File:
DJVU, 1.74 MB
IPFS:
,
russian, 1988